Terminiai masės debitomačiai veikia pagal šilumos perdavimo principą ir naudojami dujų masės srautui matuoti. Jie yra labai tikslūs ir jautrūs net mažiems srautams. Plačiai taikomi oro, azoto, metano ir kitų dujų srautų kontrolei. Idealiai tinka procesams, kur reikalingas tikslus dujų srauto matavimas. Neturi judančių dalių ir reikalauja minimalios priežiūros. Tinka tiek pramonei, tiek laboratoriniams sprendimams.